薄膜厚度(thickness)、折射率(n)及消光系数(k)厚度检测
➥ 检测薄膜厚度(thickness)、折射率(n)及消光系数(k) 服务:
1.检测项目: 检测薄膜厚度(thickness)、折射率(n)及消光系数(k)
2.检测说明: 利用椭圆偏光量测透明或半透明之薄膜,藉由量测到之偏极光的状态改变,而去取得想要的信息,是种非破坏性的检测。
3.检测仪器: 椭圆偏光仪
4.检测范围: 量测角度: 60°~75° ; 量测厚度:100 Å-2μm ; 波长范围从 300nm~900nm
