薄膜厚度(thickness)、折射率(n)及消光係數(k)厚度檢測
➥ 檢測薄膜厚度(thickness)、折射率(n)及消光係數(k) 服務:
1.檢測項目: 檢測薄膜厚度(thickness)、折射率(n)及消光係數(k)
2.檢測說明: 利用橢圓偏光量測透明或半透明之薄膜,藉由量測到之偏極光的狀態改變,而去取得想要的資訊,是種非破壞性的檢測。
3.檢測儀器: 橢圓偏光儀
4.檢測範圍: 量測角度: 60°~75° ; 量測厚度:100 Å-2μm ; 波長範圍從 300nm~900nm
